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HEIDELBERG INSTRUMENTS Technologie für eine unsichtbare Welt Ein Gespräch mit Chief Operating Officer Steffen Diez über Quantentechnologie und Krisen
für Brillen, es gibt aber ebenso Mikro-Linsen fürs Handy, etwa für die Kamera oder die Be- leuchtung. Diese Bestandteile werden alle mit lithografischen Verfahren hergestellt. Ihr Unternehmen ist vertikal stark integriert, Sie verfügen über eine hohe Fertigungs- tiefe. Warum? Diez: Schon seit der Grün- dung wurde versucht, mög- lichst viele Prozesse unter dem eigenen Dach zu halten, um die Resilienz zu stärken und flexibel auf Anforderun- gen von Kunden zu reagieren. Während der Pandemie war das sehr gut für die Verfüg- barkeit von Elektronik-Kom- ponenten. Unsere Ent- wicklungsabteilung konnte Designs anpassen, so dass alternative Bauteile möglich waren. Und wir konnten in- house mechanische Kompo- nenten fertigen, die wir sonst extern bezogen haben und in der Krise nicht bekommen konnten. Lei
hochkomplexen Maschinen, die bis zu fünf Millionen Euro kosten. Solche Komponenten stecken auch in jedem Handy … Diez: Ja, diese Geräte sind vollgestopft mit Mikroelektro- nik. Vom Display über die Sen- soren bis zu den Prozessoren – das wird alles lithografisch hergestellt. Teilweise sogar in noch kleineren Strukturen, die wir nicht mehr mit unserer Technologie abbilden können. Warum sind diese winzigen Strukturen so wichtig? Diez: Die kleinsten Strukturen gehen herunter bis auf 200 Nanometer. Unsere Ma- schinen kommen auch in der Forschung zum Einsatz, von elektronischen Komponenten für die Quantentechnologie bis zur Materialforschung. Das er- gibt eine sehr weite Bandbrei- te. Genauso aber sind unserer Maschinen wichtig für die Dis- play- und Halbleiterfertigung sowie in der Mikro-Optik. Mikro-Optik? Diez: Jeder kennt große Linsen
Welche Aufgabe erfüllen die Maschinen, die Sie für den Weltmarkt herstellen? Steffen Diez: Wir sind Maschi- nenbauer, allerdings nicht für die klassische Fertigung in der Industrie, etwa bei der Automo- bilherstellung. Unsere Maschi- nen stoßen in einen nahezu unsichtbaren Bereich vor. Sie nutzen ein Lithografie-Verfah- ren, um Strukturen im Mikro- meterbereich zu erzeugen. Das hat aber nichts mit Litho- grafie im künstlerischen Sinne zu tun? Etwa angeritzten Steinplatten, mit denen Papier bedruckt wird? Diez: Wir nennen das auch genauer UV-Lithografie, weil wir mit UV-Licht einen foto- sensitiven Lack, sogenannten Fotolack, belichten, der sich dann in einem chemischen Prozess herauslöst. So entsteht aus dem Fotolack eine Mikro- struktur, die verwendet wird, um mikroelektronische Bautei- le herzustellen. Das ist sinnvoll für alle Produkte, die auf diese Mikrostrukturen angewiesen sind. Und für diese Lithografie- Prozesse produzieren wir die
Steffen Diez steht auf diesem Bild im Reinraum der Produktion – im Gelblicht, das zum Schutz für den Fotolack nötig ist.
ZAHLEN UND FAKTEN
1984 Gegründet 400 Mitarbeiter 80 Millionen Euro Umsatz
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IHK Magazin Rhein-Neckar 03 | 2026
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